FIB聚焦離子束加工技術(shù)簡(jiǎn)介FIB（Focused Ion Beam）聚焦離子束加工技術(shù)是一種利用高能離子束進(jìn)行納米尺度加工和分析的先進(jìn)技術(shù)。它結(jié)合了離子束刻蝕和掃描電子顯微鏡（SEM）成像的功能，可廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)、電子器件制造、生物醫(yī)學(xué)和納米器件研究等領(lǐng)域。下面將對(duì)FIB聚焦離子束加工技術(shù)進(jìn)行詳細(xì)介紹。
原理和設(shè)備： FIB聚焦離子束加工技術(shù)基于高能離子束與材料的相互作用。加速器產(chǎn)生的離子束通過(guò)光學(xué)透鏡系統(tǒng)的聚焦，將離子束的能量聚集到納米尺度的小區(qū)域內(nèi)。離子束可以通過(guò)改變聚焦強(qiáng)度和掃描方式來(lái)實(shí)現(xiàn)局部材料加工和成像。
